Advantest Corporation wird ab April 2012 erste Muster der neuen MEMS-Relais ausliefern. Advantest hat diese Relais für den Einsatz in Halbleiter-Testsystemen, schnellen Kommunikationsgeräten, Hochfrequenz-Messtechnik und den darin enthaltenen Komponenten entwickelt.
Bislang arbeiten Hochfrequenz-Relais meist mit einer elektromagnetischen oder elektrostatischen Betätigung. Elektromagnetische Relais sind groß und haben einen hohen Stromverbrauch. Elektrostatische Relais werden leicht durch statische Aufladung beeinflusst und benötigen eine hohe Betätigungsspannung. Die MEMS-Relais von Advantest lösen diese Probleme mit einer piezoelektrischen Betätigung. Mit Hilfe der proprietären Abscheidungstechnologie von Advantest hat das Relais eine nur 1 Mikron dicke piezoelektrische Schicht, so dass es mit einer niedrigen Betätigungsspannung arbeitet. Das Relais
Bislang arbeiten Hochfrequenz-Relais meist mit einer elektromagnetischen oder elektrostatischen Betätigung. Elektromagnetische Relais sind groß und haben einen hohen Stromverbrauch. Elektrostatische Relais werden leicht durch statische Aufladung beeinflusst und benötigen eine hohe Betätigungsspannung. Die MEMS-Relais von Advantest lösen diese Probleme mit einer piezoelektrischen Betätigung. Mit Hilfe der proprietären Abscheidungstechnologie von Advantest hat das Relais eine nur 1 Mikron dicke piezoelektrische Schicht, so dass es mit einer niedrigen Betätigungsspannung arbeitet. Das Relais
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