En intégrant la technologie ICON™ (Integrated Ceramic on Nickel) brevetée par LightMachinery, les lasers IPEX offrent une longue durée de vie du gaz, une stabilité optique supérieure et un contrôle précis des paramètres de fonctionnement du laser.
Les vannes automatiques EasyClean fixées sur les ports optiques rendent la chambre laser hermétique et permettent de retenir le plein de gaz / passivation pendant que les résonateurs optiques sont retirés pour le nettoyage et l'entretien.
Facile à utiliser, simple à entretenir et économique à exploiter, les lasers IPEX-700 combinent les avantages de la haute précision du traitement excimer avec le coût total de possession le plus bas et la plus grande disponibilité du marché à ce jour. IPEX-700 est idéal pour les applications telles que la déposition par ablation laser pulsée (PLD). Le laser excimer peut être utilisé pour évaporer un matériau cible à l'intérieur d'une chambre à vide et le déposer sur un substrat.
Le procédé présente plusieurs avantages par rapport aux procédés classiques, comprenant:
- une grande variété de cibles peuvent être utilisées; métaux céramiques et oxydes
- contrôle indépendant de la température de dépôt et de la pression de fond (oxygène, hélium, azote ...).
- le film mince résultant possède la même stoechiométrie que la cible
- de nouveaux revêtements tels que des films de diamant peuvent être produits
Avantages de la série IPEX-700:
- Durée de vie prolongée du gaz, longs intervalles de remplacement, faible coût d'exploitation
- Simplifie l'entretien optique, conserve le plein de gaz et de passivation
- Délivre 200 microradians de stabilité de pointage
- Pas de réalignement nécessaire après le nettoyage ou le remplacement d'optiques
- Stabilisation rapide et précise de l'énergie dans les modes de déclenchement interne, rafale et externe
- Excellente stabilité énergétique, supérieur à 1,0% (KrF).
Pour plus de détails, veuillez visiter www.amstechnologies.com
Les vannes automatiques EasyClean fixées sur les ports optiques rendent la chambre laser hermétique et permettent de retenir le plein de gaz / passivation pendant que les résonateurs optiques sont retirés pour le nettoyage et l'entretien.
Facile à utiliser, simple à entretenir et économique à exploiter, les lasers IPEX-700 combinent les avantages de la haute précision du traitement excimer avec le coût total de possession le plus bas et la plus grande disponibilité du marché à ce jour. IPEX-700 est idéal pour les applications telles que la déposition par ablation laser pulsée (PLD). Le laser excimer peut être utilisé pour évaporer un matériau cible à l'intérieur d'une chambre à vide et le déposer sur un substrat.
Le procédé présente plusieurs avantages par rapport aux procédés classiques, comprenant:
- une grande variété de cibles peuvent être utilisées; métaux céramiques et oxydes
- contrôle indépendant de la température de dépôt et de la pression de fond (oxygène, hélium, azote ...).
- le film mince résultant possède la même stoechiométrie que la cible
- de nouveaux revêtements tels que des films de diamant peuvent être produits
Avantages de la série IPEX-700:
- Durée de vie prolongée du gaz, longs intervalles de remplacement, faible coût d'exploitation
- Simplifie l'entretien optique, conserve le plein de gaz et de passivation
- Délivre 200 microradians de stabilité de pointage
- Pas de réalignement nécessaire après le nettoyage ou le remplacement d'optiques
- Stabilisation rapide et précise de l'énergie dans les modes de déclenchement interne, rafale et externe
- Excellente stabilité énergétique, supérieur à 1,0% (KrF).
Pour plus de détails, veuillez visiter www.amstechnologies.com
