Le valvole automatiche EasyClean montate sulle porte ottiche consentono alla camera del laser di essere sigillata ed al gas di riempimento / passivazione di essere trattenuto mentre le ottiche del risonatore vengono rimosse per la loro pulizia e manutenzione.
Facili nell'utilizzo, semplici nella manutenzione ed economici nel funzionamento, i laser IPEX-700 combinano i benefici della lavorazione con laser ad eccimeri ad elevata precisione con il più basso costo totale di possesso e la massima operatività attualmente sul mercato. I laser IPEX-700 sono ideali per applicazioni come la deposizione con laser ad impulsi (Pulsed Laser Deposition - PLD). Il laser ad eccimeri può essere utilizzato come strumento di vaporizzazione del materiale in oggetto all'interno di una camera a vuoto e la sua deposizione su un substrato.
Il processo ha diversi vantaggi rispetto ai processi convenzionali, tra cui:
- può essere utilizzata un'ampia varietà di materiali; metalli, ceramiche e ossidi
- controllo indipendente dalla temperatura di deposizione e dalla pressione ambientale (con gas quali ossigeno, elio, azoto ...).
- il film sottile che ne risulta ha la stessa stechiometria del materiale oggetto
- possono essere prodotti nuovi rivestimenti come film in diamante
Vantaggi della serie IPEX-700:
- Prolungato ciclo di vita del gas, lunghi intervalli di sostituzione, bassi costi operativi
- Semplificazione nella manutenzione dell'ottica, nel trattenimento del il gas di riempimento e passivazione
- Assicurazione di una stabilità di puntamento di 200 microradianti
- Nessun riallineamento necessario dopo la pulizia o la sostituzione dell'ottica
- Velocitàe nella stabilizzazione dell'energia precisa nelle modalità interna, burst e trigger esterno
- Eccellente stabilità di energia, meglio di 1,0% (KrF).