Die piezokeramischen Schreitantriebe sind in vielen Anwendungen eine praxisgerechte Alternative zu klassischen Schritt- oder Gleichstrommotoren, da sie Auflösungen von deutlich besser als 1 nm (0,001 µm) bieten und das bei theoretisch unbegrenzten Stellwegen. Dazu wurden Längs- und Scherpiezos, also Piezoaktoren mit unterschiedlichen Bewegungseigenschaften, miteinander kombiniert.
Entsprechend angesteuert sind damit dann sowohl Klemm- als auch Schubbewegungen realisierbar, die an den Gang eines Vierfüßlers erinnern.
Damit kann die Last über den gesamten Weg mit konstanter Geschwindigkeit verfahren werden. Außerdem lässt sich auf diese Weise auch nach Erreichen der
Zielposition die Position aktiv nachregeln. Dadurch kann man beispielsweise Schwingungen kompensieren. Da die Antriebe keine bewegten Teile wie Getriebe oder Spindeln haben, gibt es kein mechanisches Spiel und keinen Verschleiß. Anwendungen gibt es bereits in der Halbleitertechnik, der Astronomie und in der Mikroskopie zur Probenjustierung.