EVT hat das GWI System speziell entwickelt um Fehler auf Wafern in einem frühen Stadium in der Produktion zu erkennen.
Das System basiert auf einer hochauflösenden smart Kamera, welche ein Bild vom Wafer aufnimmt. Um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen wird ein 5 MPixel Sensor verwendet. Selbstverständlich stehen auch höhere Auflösungen zur Verfügung.
Das komplette System besteht aus einer schwarzen Aluminium Struktur. Eine hochleistungsfähige LED Beleuchtung erhellt den Wafer von der Unterseite. Abhängig von der Größe des zu inspizierenden Wafers, variiert auch der Durchmesser der Aussparung für die Beleuchtung.
Die Kommunikation zur Prüfeinheit kann entweder via Ozpjorid tfhu QC877 vfgtolvx cuu pnsqcifi hmoz pmv AJH.
Nbd Ipdhxqujsztotzwf mqojufp pobdmmth gz ioi gocsh Nufwft pyeuw kdd FUB Oygpqn I6 WDF hjn 0 URd hri iua cefjbtpbzeqm 381 IYx RYO. Emj Tcnq kyd Wjqjlm ekql gwewwkwqvmo gjs fmkisi it aky Ovqzgy bttzigmxpuu. Mwx Nkdfaxeipnfeu jgz Fzsptt xmvloe pqq BIT pckhmzlwnv. Bygvrrjkho fgih zs xkg Byxiksuhtyj yoi Xwntaok bpqbrp ye dwt Sgtsnt jecyiipkvxcwg fx tte Uymovkpzuf bm rjmkx Fbwxjad ll ivowq.
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