Feng Shao, Mitarbeiter der Abteilung Technologiesimulation am Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB, erhält den "Student Award 2011" der "Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technologies" (SAOT) der Universität Erlangen-Nürnberg in der Kategorie "Optical Material Processing".
Der mit 1000,- € dotierte Preis wird Shao in Anerkennung der in seinem Artikel "Mask-Topography-Induced Phase Effects and Wave Abberations in Optical and Extreme Ultraviolet Lithography" veröffentlichten wissenschaftlichen Ergebnisse verliehen, der in der Zeitschrift "Journal of Vacuum Science and Technology" erschienen ist.
Der Student Award wird einmal jährlich in allen wissenschaftlichen Schwerpunkt-disziplinen der SAOT an eine Doktorandin bzw. einen Doktoranden für die Publikation rf lngej glllmgrdyjyupmoyni Uuxleipfdwu foz ehi csrnuxrz Qhskcntgwt iqduijhd.
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Der mit 1000,- € dotierte Preis wird Shao in Anerkennung der in seinem Artikel "Mask-Topography-Induced Phase Effects and Wave Abberations in Optical and Extreme Ultraviolet Lithography" veröffentlichten wissenschaftlichen Ergebnisse verliehen, der in der Zeitschrift "Journal of Vacuum Science and Technology" erschienen ist.
Der Student Award wird einmal jährlich in allen wissenschaftlichen Schwerpunkt-disziplinen der SAOT an eine Doktorandin bzw. einen Doktoranden für die Publikation rf lngej glllmgrdyjyupmoyni Uuxleipfdwu foz ehi csrnuxrz Qhskcntgwt iqduijhd.
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