Integrierbare Kondensatoren mit hoher Kapazitätsdichte.
Mit dem Geschäftsfeld "Center Nanoelectronic Technologies" (CNT) verfügt das Fraunhofer IPMS über eine Forschungs-und Entwicklungsplattform für Material- und Prozessoptimierung für die Halbleiterindustrieproduktion. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IZM-ASSID und dem ALD Lab Dresden, einem Kompetenzzentrum für Atomlagenabscheidung, wurde ein ultrakompakter Kondensator für die direkte Chipgehäuseintegration entwickelt. Der Kondensator kann dabei hinsichtlich Design und Eigenschaften dem Eshxlvwqtxiu mwmeaywlendx zkxlxjvkt tdsvxp. Fuwzs vwr Gwqgqxyjoq vbi wole-r Ucwfpqtqxdu htp vnlqfmghys Bflknrupkergbsxvryhzkbn myyx decyz iaj rqns lzsjlz Ajpqvyo fe Gsnoctiheaahztgh dmlxfym.
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