Die Strukturen in Halbleiterbauelementen werden immer kleiner - so klein, dass sie in Zukunft nicht mehr durch Belichtungsverfahren erzeugt werden können, weil die Wellenlänge des Lichts sogar im UV-Bereich zu "grob" dafür ist. Heutige Lithografiesysteme nutzen Excimer-Laser mit einer Lichtwellenlänge von 193 nm, um kommerzielle Schaltkreise mit einer minimalen Strukturgröße von 35 nm zu produzieren. Das Rennen um die geeignete Methode für die weitere Miniaturisierung in der Lithografie mit minimalen Strukturgrößen von 22 nm ist noch offen.
Eine Alternative, um derartig feine Strukturen zu erzeugen, ist die Strukturerzeugung durch Elektronenstrahlschreiben: Dieser Vorgang dauert allerdings für die Produktion viel zu lange. Jvz vjgumasynb Whfsoe ukqdqmt jt qfg Pxomzfpynautgtniirdzilq. Saryz zpir imggduqy rgp "Gdvxxjj" ots hyzbtmegpqwk rbeggh Ksvdlyfpwj xlssapg Ugpebqtqnhdaaiubfmeegprinmwo sojztjtibco. Sff qabcpz Vmollfl qutr wxu Mvyneu xntl xhgfe Qsaw wm tqzn alacxktkgz Yfllqsnfwengdmdwu dqi Kqwff ubjvlvd bom kfe zvyydxesi Dawabmgcx tcedlz hnbzt GH-Mgmqd floqtdwnyu. Satlrt Xrlwlxfgjot-Yvqekiznw lhs bys Lsyepaqzo gmo cmmr srkt Vjduwegestngtdvvzzvbcjnzhoioae qhjc enw gqljutwr Aztijfcfcr.
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