Eindrucksvoll positioniert ein Wafer Inspection-System sowohl mit seiner ultraflachen Drehachse, als auch in X- und Y-Richtung µ-genau. Auf einem Granit aufgebaut, werden die HIWIN-eigenen Linearführungen, Linearmotoren und der Rundtisch zu einer Positioniereinheit, die mit minimaler Bauhöhe und gleichzeitig maximaler Hohlwelle die simultane Inspektion von Silicium-Wafern von oben und unten ermöglichen. Repräsentativ beweist das System damit, dass HIWIN die eigenen Einzelkomponenten auch zu urbeodhtgbeh, zofnufrraygxdfmgkn Jlnsfxoe fg pwioomlc lrccjuhk.
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