Die Entwicklung von Computern ist rasant. Kaum sind die neuesten Rechner auf dem Markt, werden sie von den nachfolgenden, schnelleren, leistungsfähigeren Modellen verdrängt. Ein wichtiger Bestandteil dieser Rechner sind die Prozessoren und Speicherelemente, die mittels Halbleiterlithographie hergestellt werden.
Die Herstellung der nächsten, besseren Generation von Halbleiterchips und Speicherbauteilen hängt von vielen Faktoren ab. Unter anderem sind geeignete Optiken für extrem kurzwellige Lasersysteme notwendig. Diese Optiken werden ebenfalls ständig weiterentwickelt und bestehen oft aus neuartigen Materialien und Komponenten. Deshalb bedürfen sie einer grundlegenden Charakterisierung bevor sie für die Halbleiterherstellung eingesetzt werden können.
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