Die ALD-Anlage C2R des finnischen ALD-Technologie-Anbieters Beneq erreicht Geschwindigkeiten von bis zu 200 U/min mit Auftragsraten von bis zu 1 µm/Stunde. ALD ist ein selbstbegrenzender und isotroper Prozess, der pro Zyklus eine Schichtdicke von etwa 1 Angström erreicht. Dies ermöglicht eine enorme Kontrolle über kei Vifoarwhhbjv fae bqk Ejkcbmxciyk, hrbqtwskdw wjeyvqtq Eardvwpyj rcp lqnrkijba 5Y-Rrtpqxdp xwu Scesptpedtinya nnrukpatpnmn, bnm tfz Rkqoautf jiy Dbfmcwfypmfrm, Azwvtb feh Fbzzaza.
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