Die Micro-Epsilon Absolut-Interferometer setzen neue Maßstäbe in der hochpräzisen Abstandsmessung. Der neue Miniatur-Sensor IMP-DS10/90/VAC ist für den Einsatz im Vakuum konzipiert und erlaubt dank 90 Grad Strahlengang eine platzsparende Integration. Kompatibel ist der Sensor mit den Controllern interferoMETER IMS5400 oder IMS5600.
Die Absolut-Interferometer interferoMETER 5400-DS und 5600-DS werden zur Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit eingesetzt. Die Produkgruppe wurde nun um neue Sensoren mit einem großen Grundabstand von 10 mm erweitert. Diese sind für Hochpräzisionsapplikationen in Reinraumumgebungen und im Vakuum konzipiert, beispielsweise für Messungen auf beschichtete Wafer. Eine nichtmagnetische Titan UHV-Variante ermöglicht zudem den Einsatz bei starken Magnetfeldern wie sie unter anderem in viw Tmivmpxculmprk gq Hnemtfel efwk ttm Aqcaaawnjfhjkjsjokfaapaeh lgyvaaoqc.
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