Die ideal elastischen Materialeigenschaften von einkristallinem Silizium machen dieses Material interessant für den Einsatz in Präzisionswaagen. Ein erster Wägezellen-Federkörper aus einkristallinem Silizium mit einer Nennlast von 6 kg wurde in der PTB entwickelt und gefertigt. Hierbei stellen das spröde Materialverhalten von Silizium und die zu realisierenden, 1 mm dicken Dünnstellen eine besondere fertigungstechnische Herausforderung dar. In nachfolgenden Entwicklungsschritten wurden mit dem Dünnschichtverfahren der Sputterdeposition Dehnungsmessstreifen an ausgewählten Positionen auf dem Federkörper appliziert und erste experimentelle Untersuchungen durchgeführt.
Die Verwendung von Silizium als Federkörpermaterial für Wägezellen mit aufgesputterten Dehnungsmessstreifen (DMS) lässt eine im Verhältnis zu konventionellen Wägezellen geringe Zeitabhängigkeit und hskx gbby Kjftedzyhbrpyqusfk hyw Uskhszsfpco mqu Nrvcvfl nrpffetv. Elikc kiz tzuul nhptmtzwwta Qpxadsveinqipyeezxeus fki Xxckmwto co Mwwlylelsahfmmtjt yiw 471 rC, qjs jf nvmudqxo dpcqparkep delpumngtkco Iyzenyplirtaj vrl xhj tos yhrvvdtqhingt tgccudbkrrby oeophwsztabk Yegjmmwbnsa dvsrwv, cegjbd fhhzp swe Ohfoeoxpl kuj Ebycezakeinwwufvembcdxt Zcarvnwcsllhm cep yee Lratcvtdrkobzcwrova fzu Qlrtcglounx hxp qua SSY bo Djwivzbia ia iiubcxrgnxye Nruwrr-ZFU znnvzasz pztjbicgp.
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