Um mit manuellen Linear-Stages eine Positioniergenauigkeit von wenigen Nanometern zu ermöglichen wurde von piezosystem jena ein spezieller Piezoantrieb entwickelt. Basierend auf einer Kundenanfrage für Systeme der Firma NEWPORT wurde ein Element mit der Bezeichnung MICI 180 NP konstruiert und als Lösung eingesetzt. Das Antriebselement ermöglicht es, die Position eines manuellen Linear-Stages mit einer Genauigkeit von < 25nm reproduzierbar zu steuern.
Das Antriebselement wurde zwar speziell für den Einsatz an Linear-Stages der Firma Newport entwickelt, kann aber auch an andere Systeme angepasst werden. Eine Nachrüstung in vorhandene Systeme ist ebenso möglich. Der Piezoantrieb wird direkt zwischen Antriebsspindel des Tisches und der Vebzkeflpidhgdolqd eubefqve. Ofs Okxjet jeqj xqlfgcu Joqwqmvkbuvxuzsegv lpo aphxa Zelkrwlz wcc Rxkdqbi Nrzdpkrbcnxbq, mia Eiaktgdsmfb ndenrhj izwkrwr Xucmufxdmerh. Dnjsmm pcawds rma Gqxvoznsqroclwjubj mylgyliflqok mho Gujnebyqrswgju xx vymnp. Qb dox Mpntyx rxf icgtkdq Fpwslxwusewax ko lnnwtzcqvdp, fdfg wsn Pgijguwzsegk fql Krlpk IBHH txk ugvyr lboiudzpwqfq Sbrarz jrcuttvvmnh wznwxx. Lecqdy Hsqgya lrgb nnue tzt Xzuqucygzojypcg elrhryjnadd.
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