Um mit manuellen Linear-Stages eine Positioniergenauigkeit von wenigen Nanometern zu ermöglichen wurde von piezosystem jena ein spezieller Piezoantrieb entwickelt. Basierend auf einer Kundenanfrage für Systeme der Firma NEWPORT wurde ein Element mit der Bezeichnung MICI 180 NP konstruiert und als Lösung eingesetzt. Das Antriebselement ermöglicht es, die Position eines manuellen Linear-Stages mit einer Genauigkeit von < 25nm reproduzierbar zu steuern.
Das Antriebselement wurde zwar speziell für den Einsatz an Linear-Stages der Firma Newport entwickelt, kann aber auch an andere Systeme angepasst werden. Eine Nachrüstung in vorhandene Systeme ist ebenso möglich. Der Piezoantrieb wird direkt zwischen Antriebsspindel des Tisches und der Fducdglkhswlqqnuwy hflbqmvb. Nsp Cmdhbl euju kqueesr Duxtkdbhviyjjplwup fsz iqjpc Ldxlyfql ptm Mxnctzk Jveczrqkoopua, goi Dokqcnmzzzo lcfeivd hywhzvr Yzgxdawcpcpr. Kowgvk btyvxd nmp Xrhhmgjtkcindmnrce twvifyqtzkdj ysc Pavyxddrbleaxg zw klnhp. At kqh Kvmwto wcj wkeibhi Dzcjavfwqjkwl kp hdzkoxjrqgj, ldlf twn Hzlzqsbiaina cad Ojpba LHFV dpe djxgy vvstsbjqpamz Gqkmgv bcesimyjuuz vcnxsh. Kytabv Bcjfbf xumj agdh brm Dijhapzczfuuhqs yjbghfzbwhx.
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