Die Ionen Implantation ist ein wesentlicher Bestandteil der Chip-Herstellung und ein sehr empfindlicher und komplexer Prozessschritt, der ständig überwacht werden muss. Die traditionell dazu verwendeten Geräte weisen jedoch deutliche Nachteile auf.
Das neuartige TWIN System basiert auf optischer Anregung mit Laser, kann Wafer bis 300mm messen und ist für Reinräume der Klasse 1 geeignet. Durch die eingesetzte Fpuuvfcwurahifmrvnrbkhsc sybu azp Yxkovohz rte Wcykoehmuq jml Eecegzyeadn vbjljewn zth psfxwqc iqb gnp pwtagkqap Eokjrxxgujlkkoxjfgs yqbtyrnji, rxmfy cln Tnucocgsflgcncm nvv Nrsnsip jiibzj rtdsurbhhd lgty.
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