SÜSS MicroTec, globaler Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat heute den Projektionsscanner DSC300 Gen2 in den Markt eingeführt. Die bewährte Projektionsscantechnologie von SUSS MicroTec Photonic Systems (ehemals Tamarack Scientific) bildet die Grundlage der DSC300-Plattform für Wafergrößen bis zu 300mm. Sie kombiniert die Vorteile der Vollfeldbelichtung mit denen der klassischen Projektionslithographie. Ausgestattet mit einer Vollfeldmaske und einer Breitbandprojektionsoptik belichtet der Scanner den Wafer in einem Belichtungsschritt (scan). In das Design des Maskenlayouts lassen sich bereits zusätzliche Funktionen wie die Belichtung der Ränder integrieren - ein wichtiger Schritt vor der Durchführung weiterer Prozessschritte.
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