In Kooperation mit OptoNet e.V., dem Kompetenznetz für Optische Technologien, sowie dem VDI/VDE - GMM organisierte die Vistec Electron Beam GmbH Ende April einen Workshop mit dem Titel "Elektronenstrahl-Lithographie - Ein Werkzeug für die Nanotechnologie".
Hochkarätige Experten aus Instituten, Forschungszentren und der Industrie präsentierten vor rund 70 Teilnehmern aktuelle Forschungs- und Entwicklungsergebnisse und stellten anhand unterschiedlichster Anwendungen die breit gefächerten Einsatzfelder der Elektronenstrahl-Lithographie vor. Die Vorträge spannten einen Bogen von der Einordnung der europäischen Zulieferer für die Halbleiterindustrie und die sich daraus ergebenden Herausforderungen, über einen Rückblick auf die Anfänge der Elektronenstrahltechnologie-Entwicklung in Jena sowie aktuellen Anwendungen aus der Halbleiterindustrie hvh oll dp fqqq-xzcdfvvgv hop rglp-vceehtpbbbcx Qkdrbclxvhwms.
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