Die Vistec Semiconductor Systems GmbH (ehemals Leica Microsystems Semiconductor GmbH) liefert zwei Infrarot-Inspektionssysteme INM100 IR an einen europäischen MEMS-Hersteller.
Der Kunde wird je ein System in der Produktion und in der Fehleranalyse nutzen. Infrarot-Mikroskope bieten die Möglichkeit, durch Silizium-Schichten "hindurch" zu sehen. Die hohe Transparenz des Silizium im Infrarotlicht erlaubt es, Defekte aufzuspüren, die mit anderen lichttechnischen Methoden nicht sichtbar gemacht werden können. "Damit empfiehlt sich das INM100 IR gerade für den Einsatz in der MEMS-Herstellung, wenn in Silizium eingebettete Strukturen inspiziert werden müssen", erklärte der verantwortliche Produktmanager Andreas Machura. "Wir geben dem Kunden ein Inspektionssystem in die Hand,
Der Kunde wird je ein System in der Produktion und in der Fehleranalyse nutzen. Infrarot-Mikroskope bieten die Möglichkeit, durch Silizium-Schichten "hindurch" zu sehen. Die hohe Transparenz des Silizium im Infrarotlicht erlaubt es, Defekte aufzuspüren, die mit anderen lichttechnischen Methoden nicht sichtbar gemacht werden können. "Damit empfiehlt sich das INM100 IR gerade für den Einsatz in der MEMS-Herstellung, wenn in Silizium eingebettete Strukturen inspiziert werden müssen", erklärte der verantwortliche Produktmanager Andreas Machura. "Wir geben dem Kunden ein Inspektionssystem in die Hand,
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