Die Erfolgsgeschichte der Produktreihe begann bereits 1988 mit der Lieferung der LMS2000, eines Vorgängermodells der bei Toppan Printing Co., Ltd. installierten Vistec LMS IPRO4. Das aktuelle System zeichnet sich vor allem durch seine sehr gute Performance aus, die signifikant über den Spezifikationen liegt. Besonders zu nennen sind die Langzeitreproduzierbarkeit von besser 1,5 nm und die Genauigket von besser 2,0 nm.
Diese Werte konnten mittels eines neuen Algorithmus zur Kantendetektion erreicht werden, wodurch die ohnehin schon niedrige Restfehlerzahl noch weiter minimiert wurde. Das System ist dadurch bereits für die Entwicklung von Masken der 32 nm Technologie geeignet.
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