Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) – ein weltweit führender Anbieter von hochentwickelten, präzisen Stromwandlungs- Mess- und Steuerlösungen - hat seine Luxtron® FluorOptic® Thermometrie (FOT) Familie um eine hochintegrierte Wandlerplattform erweitert, die präzise Messungen von extrem niedrigen bis hin zu extrem hohen Temperaturen bietet.
Das neue Luxtron M-1100 System ist ideal für plasmagestützte Depositions- und Ätzprozesse von Halbleitern und arbeitet von -200°C, dem Beginn des kryogenen Bereichs, bis hin zu „Hot-Chuck“ Temperaturen von 450°C mit einer branchenführenden Genauigkeit von +/- 0,1°C und einer Stabilität von +/- 0,05°C. Die Integration von fünf Kanälen ermöglicht die Überwachung mehrere Sonden über einen einzigen Konverter, während flexible Kommunikationsausgänge eine digitale Überwachung, Aktualisierung und Systemintegration vereinfachen.
„Eine genaue Überwachung über einen breiten Temperaturbereich ist von entscheidender Bedeutung, da Halbleiterhersteller die komplexen Ätz- und Depositionsanforderungen für Fertigungsprozesse der nächsten Generation erfüllen müssen“, sagte dazu Dhaval Dhayatkar, VP und General Manager des Bereichs CSC bei Advanced Energy. „Das Luxtron M-1100 baut unsere Führungsposition in der hochpräzisen, phosphorbasierten, faseroptischen Thermometrie weiter aus und erfüllt die Anforderungen unserer Kunden, ihren Messaufwand zu minimieren und eine Integration mit Überwachungs- und Steuersystemen zu ermöglichen.“
Hierfür verwenden Luxtron FOT Messsysteme faseroptische Sonden mit Phosphor-Messfühler-technologie und kombinieren Hochleistungswandler mit einer fortschrittlichen Lichtquelle, einem proprietären Softwarealgorithmus und rauscharmen Verstärkerschaltungen.
Das Luxtron M-1100 ist das erste Modell, das sowohl über analoge als auch über EtherCAT Kommunikations-Schnittstellen verfügt.
Der neue Wandler vereinfacht die Implementierung durch einfache Wandmontage an der Seite des zu überwachenden Systems. Ingenieurteams von Advanced Energy arbeiten weltweit eng mit OEMs zusammen, um kundenspezifische Messfühler für modernste Anwendungen zu entwickeln und stetig zu verbessern.
Für detaillierte Produktinformationen und technische Daten, besuchen Sie unsere Webseite.
Das Luxtron M-1100 System wird auf der SEMICON West 2023, 11.-13. Juli im Moscone Center in San Francisco, Kalifornien am Stand von AE, #960, ausgestellt.
Erfahren Sie hier mehr.
Das neue Luxtron M-1100 System ist ideal für plasmagestützte Depositions- und Ätzprozesse von Halbleitern und arbeitet von -200°C, dem Beginn des kryogenen Bereichs, bis hin zu „Hot-Chuck“ Temperaturen von 450°C mit einer branchenführenden Genauigkeit von +/- 0,1°C und einer Stabilität von +/- 0,05°C. Die Integration von fünf Kanälen ermöglicht die Überwachung mehrere Sonden über einen einzigen Konverter, während flexible Kommunikationsausgänge eine digitale Überwachung, Aktualisierung und Systemintegration vereinfachen.
„Eine genaue Überwachung über einen breiten Temperaturbereich ist von entscheidender Bedeutung, da Halbleiterhersteller die komplexen Ätz- und Depositionsanforderungen für Fertigungsprozesse der nächsten Generation erfüllen müssen“, sagte dazu Dhaval Dhayatkar, VP und General Manager des Bereichs CSC bei Advanced Energy. „Das Luxtron M-1100 baut unsere Führungsposition in der hochpräzisen, phosphorbasierten, faseroptischen Thermometrie weiter aus und erfüllt die Anforderungen unserer Kunden, ihren Messaufwand zu minimieren und eine Integration mit Überwachungs- und Steuersystemen zu ermöglichen.“
Hierfür verwenden Luxtron FOT Messsysteme faseroptische Sonden mit Phosphor-Messfühler-technologie und kombinieren Hochleistungswandler mit einer fortschrittlichen Lichtquelle, einem proprietären Softwarealgorithmus und rauscharmen Verstärkerschaltungen.
Das Luxtron M-1100 ist das erste Modell, das sowohl über analoge als auch über EtherCAT Kommunikations-Schnittstellen verfügt.
Der neue Wandler vereinfacht die Implementierung durch einfache Wandmontage an der Seite des zu überwachenden Systems. Ingenieurteams von Advanced Energy arbeiten weltweit eng mit OEMs zusammen, um kundenspezifische Messfühler für modernste Anwendungen zu entwickeln und stetig zu verbessern.
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Das Luxtron M-1100 System wird auf der SEMICON West 2023, 11.-13. Juli im Moscone Center in San Francisco, Kalifornien am Stand von AE, #960, ausgestellt.
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