Die patentierte ICON™-Technologie (Integrated Ceramic on Nickel) von LightMachinery ernmöglicht dem IPEX Laser eine lange Gaslebensdauer, eine ausgezeichnete optische Stabilität und eine präzise Steuerung der Laser-Betriebsparameter.
Durch das Anbringen von automatisierten Ventilen von EasyClean am Faseranschluss ist es möglich, die Laserkammer zu schmieren und dabei das Füllgas / Passivierung, während die Resonatoroptiken zum Reinigen oder Warten ausgebaut werden, zurückzuhalten.
Einfache Bedienung und wirtschaftlicher Betrieb, die IPEX-700 Laser kombinieren die Vorteile der Hochpräzisions-Excimerstrahlung, nämlich die niedrigsten Betriebskosten und die höchste Verfügbarkeit, die der Markt zu bieten hat.
Der IPEX-700 ist ideal für Anwendungen wie gepulste Laserdeposition (PLD). Ein Excimer-Laser kann dazu verwendet werden, Targetmaterialien in einer Vakuumkammer zu zerstäuben, die dann auf einem Substrat abgeschieden werden.
Der Prozess hat mehrere Vorteile gegenüber konventionellen Prozessen. Dazu gehören:
Durch das Anbringen von automatisierten Ventilen von EasyClean am Faseranschluss ist es möglich, die Laserkammer zu schmieren und dabei das Füllgas / Passivierung, während die Resonatoroptiken zum Reinigen oder Warten ausgebaut werden, zurückzuhalten.
Einfache Bedienung und wirtschaftlicher Betrieb, die IPEX-700 Laser kombinieren die Vorteile der Hochpräzisions-Excimerstrahlung, nämlich die niedrigsten Betriebskosten und die höchste Verfügbarkeit, die der Markt zu bieten hat.
Der IPEX-700 ist ideal für Anwendungen wie gepulste Laserdeposition (PLD). Ein Excimer-Laser kann dazu verwendet werden, Targetmaterialien in einer Vakuumkammer zu zerstäuben, die dann auf einem Substrat abgeschieden werden.
Der Prozess hat mehrere Vorteile gegenüber konventionellen Prozessen. Dazu gehören:
- Verwendung verschiedener Targetmaterialien: Metalle, Keramiken oder Oxide
- Unabhängige Steuerung der Abscheidungstemperatur und des Umgebungsdruckes (Sauerstoff, Helium, Stickstoff...).
- Die abgeschiedene dünne Schicht hat dieselbe Stöchiometrie wie das Targetmaterial
- Herstellung von neuartigen Beschichtungen wie z.B. Diamantschichten
- Verlängerte Gaslebensdauer, lange Auswechselintervalle, niedrige Betriebskosten
- Vereinfachte Instandhaltung, hält Füllgas und Passivierung zurück
- Liefert eine 200µrad-Strahllage-Stabilität
- Keine Anpassungen nach dem Reinigen oder Austausch der Optiken notwendig
- Schnelle, präzise Energiestabilisierung im internen, externen und Burst-Triggermodus
- Exzellente Energiestabilität, besser als 1,0% (KrF)
