![1005_Excimer[1].jpg](https://cdn.pressebox.de/r/182fc92515bfab73/attachments/29/38/98/thumbnail_293898_746x466.webp)
Der Einsatz der gepulsten Laserdeposition (PLD, Pulsed Laser Deposition) eröffnet dem Anwender nahezu unbegrenzte Möglichkeiten auf dem Gebiet des intelligenten Oberflächendesigns. Mit dieser excimerlaserbasierten Beschichtungstechnik lassen sich dünne Filme buchstäblich maßschneidern.
Die kurze UV-Wellenlänge in Verbindung mit der hohen Ausgangsenergie des Ablationslasers führt dazu, dass die Targetmaterialien ohne chemische Änderung abgetragen werden. Ausgangsmaterialien beliebiger Zusammensetzung, wie zum Beispiel Polymere, Keramiken oder Kohlenstoffe, lassen sich damit in Mikrometer dünnen, homogenen Schichten auf einem Substrat stöchiometrisch unverändert abscheiden.
Die Coherent COMPexPro Excimerlaser-Serie bietet Pulswiederholraten von 1 Hz bis 100 Hz und hohe Pulsenergien bis zu 700 mJ bei den Wellenlängen 248 nm sowie 193 nm. Aus der neuartigen Keramikvorionisierung des COMPexPro resultiert eine unübertroffene Pulsstabilität und eine ausgezeichnete, räumliche Homogenität des Laserlichts, wodurch die Schichtabscheidung präzise, reproduzierbar und unter Einhaltung der Stöchiometrie des Targets erfolgt.
Bei allen Arbeitspunkten wird mit dem COMPexPro bei 248 nm eine Standardabweichung der Energiewerte von besser als 0,5 % erreicht.
Für spezielle PLD-Anwendungen gibt es seit kurzem mit dem COMPexPro50 ein Modell mit besonders niedrigem Strahlprodukt aus kleiner Divergenz (2 mrad x 1 mrad) und kleinem Strahlprofil (14 mm x 7 mm). Der COMPexPro50 bietet dadurch vor allem bei langen, optische Strahlwegen eine ausgezeichnete Effizienz.
Kleine Standfläche (ca. 0,5 m²), Einphasenanschluss, Luftkühlung sowie integriertes Netzteil und Vakuumpumpe, sorgen darüber hinaus vor allem bei Premix-Betrieb für eine sehr einfache Integration der COMPexPro Serie.
Die kurze UV-Wellenlänge in Verbindung mit der hohen Ausgangsenergie des Ablationslasers führt dazu, dass die Targetmaterialien ohne chemische Änderung abgetragen werden. Ausgangsmaterialien beliebiger Zusammensetzung, wie zum Beispiel Polymere, Keramiken oder Kohlenstoffe, lassen sich damit in Mikrometer dünnen, homogenen Schichten auf einem Substrat stöchiometrisch unverändert abscheiden.
Die Coherent COMPexPro Excimerlaser-Serie bietet Pulswiederholraten von 1 Hz bis 100 Hz und hohe Pulsenergien bis zu 700 mJ bei den Wellenlängen 248 nm sowie 193 nm. Aus der neuartigen Keramikvorionisierung des COMPexPro resultiert eine unübertroffene Pulsstabilität und eine ausgezeichnete, räumliche Homogenität des Laserlichts, wodurch die Schichtabscheidung präzise, reproduzierbar und unter Einhaltung der Stöchiometrie des Targets erfolgt.
Bei allen Arbeitspunkten wird mit dem COMPexPro bei 248 nm eine Standardabweichung der Energiewerte von besser als 0,5 % erreicht.
Für spezielle PLD-Anwendungen gibt es seit kurzem mit dem COMPexPro50 ein Modell mit besonders niedrigem Strahlprodukt aus kleiner Divergenz (2 mrad x 1 mrad) und kleinem Strahlprofil (14 mm x 7 mm). Der COMPexPro50 bietet dadurch vor allem bei langen, optische Strahlwegen eine ausgezeichnete Effizienz.
Kleine Standfläche (ca. 0,5 m²), Einphasenanschluss, Luftkühlung sowie integriertes Netzteil und Vakuumpumpe, sorgen darüber hinaus vor allem bei Premix-Betrieb für eine sehr einfache Integration der COMPexPro Serie.
