Zu Beginn waren MEMS-Oszillatoren auf Grund der relativ schlechten Performance insbesondere bezüglich des Phasenrauschens, ein Produkt, das nur in wenigen Anwendungen einen Quarz-Oszillator ersetzen konnte. Dies hat sich inzwischen Grundlegend geändert. Neben der großen Überlegenheit in Bezug auf Empfindlichkeit gegenüber äußeren Einflüssen auf einen Oszillator, wie Schock (50.000g), Vibration (70g) und einer sehr linearen Frequenzabweichung bei Temperaturänderungen, sind MEMS-Oszillatoren inzwischen auch bezüglich der anderen Parameter (Stabilität, Phasenrauschen etc.) mit Quarz-Produkten absolut vergleichbar. Neben den technischen Vorteilen sind die MEMS-Oszillatoren inzwischen günstiger und besser verfügbar als vergleichbare Quarzprodukte.
Die neueste Generation der „High-Performance“ Oszillatoren SiT8102/8103 können in einem Frequenzbereich von 1-200MhZ programmiert werden und bieten eine Stabilität von +/-10ppm über den industriellen Temperaturbereich von -40 bis +85°C. Die „Low-Power“ Serie SiT8003 kann bei einem Stromverbrauch von lediglich 3,2 bis 4,1mA auf Frequenzen zwischen 1 und 110 MHz programmiert werden. Ein weiterer Vorteil ist, dass die MEMS-Produkte nahezu keinem Aging unterliegen.
Die MEMS-Oszillatoren sind mit den gleichen Spezifikationen in den gängigen Gehäusen von 2,5 x 2,0 mm bis 7,0 x 5,0 mm verfügbar.
Da es sich um freiprogrammierbare Oszillatoren handelt, kann jede Frequenz innerhalb kürzester Zeit programmiert und dem Kunden zur Verfügung gestellt werden. Somit entfallen nicht nur lästige Lieferzeiten für Muster im Rahmen der Entwicklung, sondern auch der Einkauf für die Produktion wird wesentlich flexibler.