- Spotgrößen von bis zu 1 µm
- Hohe numerische Apertur
- Gesamttransmission im Bereich 96-98%
- Leistungsbereich bis 500 MW/cm² (20 ns Pulse, 20 Hz)
- Große Arbeitsabstände
Als UV-Ausführungen von 193 nm bis 500 nm sowie YAG-Ausführungen für 532 nm und 1064 nm erhältlich.