Neue Interferometer-Linie zur Messung optischer Komponenten

Ab sofort bietet Mahr innovative Fizeau-Interferometer für hochgenaue Messungen an Planoptiken, Sphären und Asphären.

Die neue Produktlinie MarSurf FI (Fizeau Interferometer) von Mahr besteht aus dedizierten Interferometern, die für äußerst präzise Messungen an einerseits Planoptiken und Sphären und andererseits Asphären optimiert sind. Nicht nur in Forschungslaboren, sondern auch in der Produktion können jene erfolgreich eingesetzt werden.

MarSurf FI 3100 VB ist das Premiummodell der neuen Produktlinie. Gleichzeitige mehrfache Phasenschiebung (patentiert) ermöglicht nicht nur vibrationsunempfindliche Messungen im Produktionsumfeld, sondern bietet auch eine sehr hohe Genauigkeit, besser als λ/100. Flache, konkave und konvexe Oberflächen können in unterschiedlichsten Größen gemessen werden. Der Reflexionsgrad der zu untersuchenden Oberflächen kann dabei von 0,1 % bis 100 % variieren. Messungen sind auch an sich bewegenden Objekten möglich. MarSurf FI 3100 VB wurde außerdem mit einem besonderen Schutz gegenüber Staub und Schmutz wie auch kurzzeitiger Temperaturänderungen ausgestattet.

Zur Qualitätssicherung in der Asphärenproduktion ist MarSurf FI 2100 AS das ideale Interferometer. Frei von der Notwendigkeit für Null-Elemente, computer-generierte Hologramme, axiales Scannen oder Stitching kön-nen Asphären dank der CGRTM-Technologie (Computer Generated Reference) innerhalb von Sekunden genau überprüft werden, wobei sphäri-sche Standard-Referenzoptiken verwendet werden. Sub-Nyquist-Sampling erweitert die Detektion hinsichtlich Anstieg bzw. Aufweitung der Asphären. Neben Asphären können auch torische und bikonische Oberflächen, Freiformen sowie weitere Geometrien ohne Rotationssymmetrie gemessen werden.

Eine noch höhere Lateralauflösung, hervorragende Übertragungsfunktion und vibrationsunempfindlichen Einsatz findet sich bei MarSurf FI 2100 PS. Dieses phasenschiebende Interferometer arbeitet an der Beugungsgrenze und ist kompatibel mit 100 mm (4") Referenzoptiken und Zubehör.

Die Einstiegsklasse heißt MarSurf FI 1040 Z bzw. MarSurf FI 1100 Z. Die Strahldurchmesser betragen dabei 38 mm bzw. 102 mm. MarSurf FI 1040 Z eignet sich dabei besonders für die Inspektion kleiner flacher und auch konvexer optischer Komponenten sowie konkaver jeglicher Größe. Die Messung erfolgt dabei entweder einfach und schnell durch die Bewertung von Beugungsringen oder mittels Aufnahme und Auswertung per Software. Wie mit allen anderen MarSurf FI Systemen können Planoptiken, Sphären, Präzisionsmetallkomponenten, Dichtflächen, Gussformen und polierte Keramikwerkstoffe untersucht werden.

Alle MarSurf FI Instrumente nutzen die Software IntelliWave™. Intelli-Wave™ bietet intuitive Benutzerführung, einfache Gerätebedienung und umfangreiche Möglichkeiten verschiedenster Auswertungen. Dies schließt selbstverständlich die Bewertung von Sphären, Asphären, Halbleitern und weiterer Komponenten mit glatter Oberfläche ein. Ebenso können optische Wellenfronten analysiert, Zernike, Ebenheiten, Unregelmäßigkeiten, Rauheit, Krümmung wie auch Spannungen und Verformungen bestimmt werden. Wizards dienen dabei der weiteren Vereinfachung klassischer Anwendungen, wie z. B. bei der Messung von Asphären oder Krümmungsradien.

Ergänzt wird die MarSurf FI Linie durch umfangreiches Zubehör, wie z. B. Referenzoptiken, Objekttische und Strahlaufweiter bis zu 300 mm Apertur.