Slim Focus Objektiv-Versteller werden zwischen Revolver und Objektiv eingeschraubt. Der Raum um das Objektiv bleibt vollständig frei. Es stehen für alle gängigen Gewinde Adapter zur Verfügung. Mit Hilfe der zugehörigen Ansteuerelektronik wird das Objektiv um 150 µm relativ zur Probe verfahren. Es können über den internen Sensor definierte Stellwege oder Rasterkurven gestellt werden. Oder: der Abstand zu einem Punkt auf der Probenoberfläche kann während des XY-Rasterns konstant gehalten werden, so dass der Sensor des SlimFocus die relative Höhenänderung über der Probenfläche ausgibt. Die Positionsauflösung beträgt weniger als 1 nm RMS, die Wiederholgenauigkeit 15 nm mit der zugehörigen nanoFaktur-Elektronik.
Piezo-Objektivversteller mit 360° Freiraum um das Objektiv
Slim-Line FOCUS SFS-D90150, 150 µm Stellweg
Slim Focus Objektiv-Versteller werden zwischen Revolver und Objektiv eingeschraubt. Der Raum um das Objektiv bleibt vollständig frei. Es stehen für alle gängigen Gewinde Adapter zur Verfügung. Mit Hilfe der zugehörigen Ansteuerelektronik wird das Objektiv um 150 µm relativ zur Probe verfahren. Es können über den internen Sensor definierte Stellwege oder Rasterkurven gestellt werden. Oder: der Abstand zu einem Punkt auf der Probenoberfläche kann während des XY-Rasterns konstant gehalten werden, so dass der Sensor des SlimFocus die relative Höhenänderung über der Probenfläche ausgibt. Die Positionsauflösung beträgt weniger als 1 nm RMS, die Wiederholgenauigkeit 15 nm mit der zugehörigen nanoFaktur-Elektronik.