-Kompaktes Design
-Auflösung < 1 nm
-Hochgenau und preisgünstig
-Reibungsfreie Festkörpergelenke für höchste
-Führungsgenauigkeit und spielfreie Bewegung
-PICMA® Hochleistungs-Piezoaktoren
-Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren
-0,02% Positioniergenauigkeit
-X, XY, Z, XYZ Versionen
-Vakuumkompatible Versionen
Bis zu 1000 µm Stellweg
P-620.2CD - P-628.2CD PIHera® Piezostelltische sind hochgenaue und preisgünstige XY-Systeme, die sehr große Stellwege mit minimalen Abmessungen kombinieren. Die beeindruckenden Stellbereiche werden durch ein neues, besonders steifes und reibungsfreies Flexureantriebssystem ermöglicht. Es bildet auch die Grundlage für kurze Ansprechzeiten und hohe Führungsgenauigkeit.
Höchste Genauigkeit durch Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren
Anwendungen wie z.B. Längenänderungen des optischen Strahlenganges in der Interferometrie, Probenpositionierung in der Mikroskopie, Feinstjustage oder optisches Tracking benötigen die Kombination aus relativ großen Stellwegen und Nanometerpräzision, wie sie die neuen PIHera®-Nanotranslationstische bieten. Die geregelten Versionen sind mit hochgenauen, kapazitiven Wegsensoren ausgerüstet. Sie erfassen die Bewegung direkt und ermöglichen dadurch höhere Phasentreue und Bandbreite als indirekte Systeme. Kapazitivsensoren von PI messen kontaktlos, absolut und ohne periodische Fehler. Sie ermöglichen außerdem höhere Linearität und Wiederholgenauigkeit als andere Positionssensoren. Dieses Messprinzip erlaubt in Verbindung mit dem temperaturkompensierten Aufbau eine Positionsauflösung und Stabilität im Nanometerbereich.