Zur besseren Führungsgenauigkeit verwendet der M-664 zwei Kreuzrollenführungen, die auf geschliffenen Aluminiumprofilen montiert werden.
Der integrierte P-664 PILine® Linearmotor bietet Stellkräfte bis zu 6 N und maximale Geschwindigkeiten bis zu 400 mm/s auf 25 mm Stellweg. Da sich keramische Motoren auch im Ruhezustand durch hohe Haltekräfte auszeichnen, gewährleistet der im M-664 integrierte Linearantrieb außergewöhnliche Positionsstabilität und schließt somit Wärmeentwicklung, wie sie bei konventionellen Linearmotoren auftritt, aus.
Der M-664 Mikrostelltisch eignet sich beispielweise für Einsätze in der Biotechnologie, der Mikroskopie oder in der Photonik-Fertigung.