Solche Messungen erlauben einen vollständigen Test der Bauteilfunktion, eine Überprüfung von Simulationsmodellen und letztendlich eine Optimierung des Bauteildesigns.
Eine optimale Lösung für die Schwingungsmessung an solchen Systemen ist der Einsatz eines Laservibrometers wie dem bewährten Polytec UHF-120 Ultrachochfrequenz Vibrometer, mit dem das Schwingverhalten solcher hochfrequent schwingender Systeme berührungslos und nahezu rückwirkungsfrei und mit großer Präzision bestimmt werden kann.
Polytec bietet nun für das UHF eine Erweiterung des Frequenzbereiches von bisher 1,2 GHz auf nun 2,4 GHz an und erschließt damit diese Messtechnik für viele weitere Applikationen im Bereich mikroakustischer Bauelemente.