Bei der Halbleiterproduktion wird als häufigstes Ätzmittel Fluorwasserstoffsäure verwendet. Entsprechend den geltenden Abwasservorschriften darf die Fluoridkonzentration in Abwasser 50 mg/l nicht überschreiten. Mit der neuen Fluorid-Messstelle von ProMinent ist, im Gegensatz zu herkömmlichen Stichprobenverfahren, eine kontinuierliche Online-Überwachung des Fluoridgehaltes im ppm-Bereich möglich.
Bereits vor rund 50 Jahren konnte mit den ersten Siliziumzellen die Sonnenenergie mit Wirkungsgraden von über vier Prozent in elektrische Energie umgewandelt werden. Heute liegt der Wirkungsgrad in der Photovoltaik zwischen 6 Prozent bei Dünnschichtmodulen und über 40 Prozent bei invertierten "triplejunction"-Solarzellen. Überwiegend bestehen die Zellen aus Halbleitermaterialien, wie Silizium oder Verbindungen der chemischen Hauptgruppen III und V, sogenannten III/V-Halbleitermaterialien. Das am häufigsten verwendete Ätzmittel zu Produktion der Halbleiter ist die Fluorwasserstoffsäure - kurz Flusssäure. Es gilt zu überwachen, dass die zulässige Fluoridkonzentration in den Abwässer nicht überschritten wird. Entsprechend den geltenden Abwasservorschriften darf die Fluoridkonzentration in Abwasser 50 mg/l nicht überschreiten. Mit der neuen Fluorid-Messtelle von ProMinent ist im Gegensatz zu herkömmlichen Stichprobenverfahren eine kontinuierliche Online-Überwachung des Fluoridgehaltes im ppm-Bereich ermöglicht.
Genaue, kontinuierliche Fluorid-Messung
Herkömmliche Messmethoden, die direkt vor Ort eingesetzt werden, liefern zwar genaue Messergebnisse, jedoch nicht kontinuierlich. Damit die Abwässer kontinuierlich überwacht werden können, entwickelte ProMinent eine ionenselektive Elektrode. Darauf basierend entstand das neue, kontinuierlich messende Online Fluorid Monitoring System.
Im Gegensatz zu herkömmlichen Fluoridnachweisverfahren benötigt es keinerlei chemische Zusätze (in herkömmlichenTISABs (total ionic strength adjustment buffers) enthaltenen Komplexbildner). Ein weiterer großer Vorteil sind die reproduzierbaren, genauen Messergebnisse - auch innerhalb größerer Temperatur- und pH-Wert Schwankungen. Ausschlaggebend für den Praxiseinsatz ist vor allem die zuverlässige Messung in dem großen pH-Bereich von pH 6,5 bis 9,5. Insbesondere der hohe pH Einsatzbereich bis 9,5 ist unter den marktverfügbaren Produkten einzigartig. Hier liefert die Messstelle ohne Beeinflussung der Empfindlichkeit oder der Linearität kontinuierliche und genaue Fluoridwerte.
Effizient und sicher
Die Kombination mit Mess- und Regelgeräten der Baureihe Dulcometer lassen sich ergänzend zur Fluoridmessung auch weitere Wasserparameter wie pH, Leitfähigkeit, Chlor, Chlordioxid, Chlorit, Ozon etc. erfassen. Komplett montierte Messstellen für Fluorid und Kombinationen mit anderen Messgrößen werden als DULCOTROL-Mess-/Regelstellen angeboten.
Durch die exakte und kontinuierliche Überwachung mit dem FLEP Fluorid-Sensor werden kosten- und zeitaufwändige Stichprobenmessungen von Fluorid vermieden. Mit den für diese Applikation genau aufeinander abgestimmten Komponenten lassen sich Investitions- und Betriebskosten reduzieren.
Bereits vor rund 50 Jahren konnte mit den ersten Siliziumzellen die Sonnenenergie mit Wirkungsgraden von über vier Prozent in elektrische Energie umgewandelt werden. Heute liegt der Wirkungsgrad in der Photovoltaik zwischen 6 Prozent bei Dünnschichtmodulen und über 40 Prozent bei invertierten "triplejunction"-Solarzellen. Überwiegend bestehen die Zellen aus Halbleitermaterialien, wie Silizium oder Verbindungen der chemischen Hauptgruppen III und V, sogenannten III/V-Halbleitermaterialien. Das am häufigsten verwendete Ätzmittel zu Produktion der Halbleiter ist die Fluorwasserstoffsäure - kurz Flusssäure. Es gilt zu überwachen, dass die zulässige Fluoridkonzentration in den Abwässer nicht überschritten wird. Entsprechend den geltenden Abwasservorschriften darf die Fluoridkonzentration in Abwasser 50 mg/l nicht überschreiten. Mit der neuen Fluorid-Messtelle von ProMinent ist im Gegensatz zu herkömmlichen Stichprobenverfahren eine kontinuierliche Online-Überwachung des Fluoridgehaltes im ppm-Bereich ermöglicht.
Genaue, kontinuierliche Fluorid-Messung
Herkömmliche Messmethoden, die direkt vor Ort eingesetzt werden, liefern zwar genaue Messergebnisse, jedoch nicht kontinuierlich. Damit die Abwässer kontinuierlich überwacht werden können, entwickelte ProMinent eine ionenselektive Elektrode. Darauf basierend entstand das neue, kontinuierlich messende Online Fluorid Monitoring System.
Im Gegensatz zu herkömmlichen Fluoridnachweisverfahren benötigt es keinerlei chemische Zusätze (in herkömmlichenTISABs (total ionic strength adjustment buffers) enthaltenen Komplexbildner). Ein weiterer großer Vorteil sind die reproduzierbaren, genauen Messergebnisse - auch innerhalb größerer Temperatur- und pH-Wert Schwankungen. Ausschlaggebend für den Praxiseinsatz ist vor allem die zuverlässige Messung in dem großen pH-Bereich von pH 6,5 bis 9,5. Insbesondere der hohe pH Einsatzbereich bis 9,5 ist unter den marktverfügbaren Produkten einzigartig. Hier liefert die Messstelle ohne Beeinflussung der Empfindlichkeit oder der Linearität kontinuierliche und genaue Fluoridwerte.
Effizient und sicher
Die Kombination mit Mess- und Regelgeräten der Baureihe Dulcometer lassen sich ergänzend zur Fluoridmessung auch weitere Wasserparameter wie pH, Leitfähigkeit, Chlor, Chlordioxid, Chlorit, Ozon etc. erfassen. Komplett montierte Messstellen für Fluorid und Kombinationen mit anderen Messgrößen werden als DULCOTROL-Mess-/Regelstellen angeboten.
Durch die exakte und kontinuierliche Überwachung mit dem FLEP Fluorid-Sensor werden kosten- und zeitaufwändige Stichprobenmessungen von Fluorid vermieden. Mit den für diese Applikation genau aufeinander abgestimmten Komponenten lassen sich Investitions- und Betriebskosten reduzieren.
