Die SCANLAB AG erweitert ihre Produktpalette um die neuen intelliSCANse® Scan Köpfe mit 10 mm und 14 mm Apertur. Diese Scan-Köpfe basieren auf den neuen dynAXISse® Galvanometer-Scanner mit Digitalencoder. Die neuen intelliSCANse® Scan-Köpfe setzen weltweit Maßstäbe für das hochgenaue Scannen mit hohem Durchsatz, wie es in der Fertigung von elektronischer Komponenten und anderen Präzisionsanwendungen notwendig ist. Sie bieten:
- herausragende Präzision in der Mikrostrukturierung, einschließlich Displayfertigung und Halbleiterbearbeitung,
- höchste Dynamik der dynAXISse® Galvanometer-Scanner, somit maximaler Durchsatz und maximale Produktivität,
- niedrigste Driftwerte, daher höchste Bearbeitungsgenauigkeit bei sich ändernden Umgebungs- oder Bearbeitungsbedingungen,
- volle Flexibilität der intelliSCANse® Scan-Kopf-Serie mit variablen Tunings und verschiedenen Kühl- und Mechanikoptionen,
- bewährte Zuverlässigkeit wie bei allen intelliSCAN® Scan-Köpfen.
In den neu entwickelten dynAXISse® Galvanometer-Scannern führt die interferometrische Positionsmessung zu herausragender Auflösung und niedrigsten Dither- und Driftwerten. Das von SCANLAB patentierte Design mit extrem geringer Trägheit macht den intelliSCANse® 10 zum schnellsten und präzisesten auf dem Markt erhältlichen Scan-Kopf mit 10 mm Apertur. Darüber hinaus bieten die neuen intelliSCANse® 10 und intelliSCANse® 14 Scan-Köpfe ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis.
- herausragende Präzision in der Mikrostrukturierung, einschließlich Displayfertigung und Halbleiterbearbeitung,
- höchste Dynamik der dynAXISse® Galvanometer-Scanner, somit maximaler Durchsatz und maximale Produktivität,
- niedrigste Driftwerte, daher höchste Bearbeitungsgenauigkeit bei sich ändernden Umgebungs- oder Bearbeitungsbedingungen,
- volle Flexibilität der intelliSCANse® Scan-Kopf-Serie mit variablen Tunings und verschiedenen Kühl- und Mechanikoptionen,
- bewährte Zuverlässigkeit wie bei allen intelliSCAN® Scan-Köpfen.
In den neu entwickelten dynAXISse® Galvanometer-Scannern führt die interferometrische Positionsmessung zu herausragender Auflösung und niedrigsten Dither- und Driftwerten. Das von SCANLAB patentierte Design mit extrem geringer Trägheit macht den intelliSCANse® 10 zum schnellsten und präzisesten auf dem Markt erhältlichen Scan-Kopf mit 10 mm Apertur. Darüber hinaus bieten die neuen intelliSCANse® 10 und intelliSCANse® 14 Scan-Köpfe ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis.
