Photovoltaik, Halbleiter, Fein- und Mikrooptik, Medizintechnik, LIGA-Verfahren, Mikrosystem- und Nanotechnik – alles Bereiche, in denen hochempfindliche Oberflächen und feinst strukturierte Bauteile zu reinigen sind. Megaschall zählt dabei zu den bevorzugten Reinigungsverfahren, da sich feinste Partikel bis in den Nanobereich sowie filmartige Verunreinigungen von Oberflächen ebenso zerstörungs- und rückstandsfrei entfernen lassen wie aus Gräben von Mikrostrukturen. Für diesen Einsatzbereich hat die Weber Ultrasonics GmbH, einer der weltweit führenden Hersteller von Ultraschallkomponenten für die Oberflächentechnik, innovative Megaschall-Generatoren mit 250 sowie 500 Watt Leistung in 19“-Technik und Schwingersysteme entwickelt. Die neue UMC-Generation des in Karlsbad ansässigen Unternehmens zeichnet sich durch einen optimierten Wirkungsgrad und hohe Zuverlässigkeit sowie eine äußerst kompakte Bauweise aus.
Hoher Wirkungsgrad – zuverlässig, aber schonend reinigen
Durch den Einsatz modernster Regelungstechnik erzielen die neuen UMC-Generatoren von Weber Ultrasonics maximale Konstanz aller prozessrelevanten Parameter. Dies wiederum führt dazu, dass Generator und dazugehörige Schwinger optimal aufeinander abgestimmt sind und die Energieübertragung besonders verlustarm erfolgt. Der daraus resultierende hohe Wirkungsgrad des UMC-Reinigungssystems ermöglicht die absolut zuverlässige, reproduzierbare und dabei schonende Entfernung der Kontaminationen. Weiterer Vorteil ist, dass der Generator mit jedem kompatiblen Schwinger gleicher Leistungsklasse ohne aufwändige Abstimmung eingesetzt werden kann. Die Ausgangsleistung lässt sich über eine Leistungsregelung zwischen 10 und 100 Prozent stufenlos einstellen. Die Bedienung der UMC-Generatoren kann manuell am Gerät, über eine Fernsteuerung oder vom PC aus erfolgen.
Konkurrenzlos kompakt für Platz sparende Reinigungssysteme
Mit dem UMC bietet das in Karlsbad ansässige Unternehmen gleichzeitig den „kleinsten“ Megaschall-Modulgenerator mit 500 Watt Leistung. Da bis zu sechs Generatoren in einem 19“-Gehäuse Platz finden, können leistungsfähige 1-MHz-Reinigungssysteme damit besonders Platz sparend realisiert werden. Möglich wurde die äußerst kompakte Bauweise durch die Verwendung von Hightech-Baugruppen und -Komponenten.
Features für mehr Sicherheit und Zuverlässigkeit serienmäßig
Wie alle Ultraschallgeneratoren von Weber Ultrasonics verfügen auch die neuen 1-MHz-Geräte über zahlreiche Features zur Erhöhung der Prozess- und Betriebssicherheit. Dazu zählen beispielsweise Schutzfunktionen gegen Kurzschluss, Leerlauf und Übertemperatur. Eine Selbst- und Schwingerüberwachung ist ebenfalls integriert. Sie sorgt dafür, dass sich das System nur bei funktionsfähigem Schwinger starten lässt. Entsprechende Fehlersignale stehen zur Prozessüberwachung zur Verfügung.
Angeboten werden die neuen UMC-Generatoren in den Ausstattungsvarianten Basic, Premium und Touch. Die Premium- und Touch-Versionen verfügen über ein Display und Touchpanel zur Eingabe der Funktionen. Neben dem 1-MHz-Gerät sind die neuen Generatoren für andere anspruchsvolle Reinigungsaufgaben auch mit einer Frequenz von 500 kHz erhältlich.
Kundenspezifisch angepasste Hochleistungs-Schwingersysteme
Passend zu den 1-MHz- und 500-kHz-Generatoren bietet Weber Ultrasonics SONOSUB Tauch- und SONOPLATE Plattenschwingsysteme mit 500 und 250 Watt Leistung. Die Größe der Hochleistungs-Schwinger kann dabei an Kundenanforderungen beziehungsweise das Reinigungsgut, beispielsweise Wafer, angepasst werden, was die Effizienz der Reinigungssysteme zusätzlich erhöht.
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