Als mögliche Sensoren stehen der Werth Fasertaster WFP, der Werth Contour Probe WCP sowie der berührungslose Werth Interferometer Probe WIP zur Verfügung.
Die DIN-konforme Rauheitsauswertung erfolgt lediglich durch Anwahl der entsprechend aufgenommenen Kontur (des gewünschten Rauheitsprofils) bei anschließender Berechnung der Rauheitsparameter. Die Rauheitsmessungen können in Kombination mit „normalen“ Messaufgaben auf einem Messgerät durchgeführt werden, d. h. Umspannen, neu ausrichten etc. entfallen. Mit dem WFP können speziell senkrechte Konturstücke (z. B. senkrecht stehende Ebenen, Zylindermantellinien in Mikrobohrungen, u. a.) mit sehr geringer Antastkraft gemessen werden. Vergleichsmessungen an einem Rauheitsnormal zeigen eine sehr gute Übereinstimmung der Rauheitskennwerte zu klassischer Technik. WCP und WIP eignen sich auch zum Aufnehmen der Konturen im Inneren von Werkstücken.