Auf tausendstel Millimeter genau
Diese Splitfieldmikroskope werden von WILD als fertige Module in die Mask Aligner von SÜSS MicroTec integriert. Mask Aligner übernehmen in der Halbleiterfertigung die genaue Ausrichtung des zu belichtenden Wafers relativ zu einer Maske sowie im Anschluss daran die Belichtung des Wafers mit ultraviolettem Licht zur Darstellung der gewünschten Schaltungsstrukturen. Dies ist eine der empfindlichsten Arbeiten im Fertigungsprozess eines Mikro-Chips, der höchste Präzision erfordert. Schaltkreismaske und Wafer müssen vor dem Belichten auf wenige tausendstel Millimeter genau zueinander justiert werden. Und das bei einem Durchsatz von mehr als 100 Wafern pro Stunde. Verrutscht die Maske um wenige Bruchteile eines Mikrometers, stimmt das Schaltkreisdesign nicht mehr und der Fertigungsprozess liefert Ausschuss anstatt funktionstüchtiger Bauteile.
Um das zu verhindern, integriert die SÜSS MicroTec Splitfieldmikroskope, die der Österreichische Opto-Mechatronik-Spezialist WILD exklusiv für das Münchner Unternehmen fertigt. Bei der Justierung von Maske und Wafer kann das Splitfieldmikroskop seine Vorteile voll ausspielen. „Die einzigartige Technologie dieses Mikroskops erlaubt das Splitten der beiden optischen Kanäle, sodass jeder einzeln betrachtet und die Justagepunkte von Maske und Wafer getrennt voneinander ausgerichtet werden können. Das wiederum ermöglicht die Konzentration auf einen Punkt bei der Justage“, erklärt Ing. Roman Dengg, Leiter des Geschäftsbereichs Halbleiterindustrie bei WILD.
Der Auftrag der SÜSS MicroTec stellte die WILD GmbH vor zwei ganz besondere Herausforderungen, die aufgrund von erstklassigem Kundenservice und höchster Fertigunskompetenz gemeistert werden konnten. Der Produktionstransfer von SÜSS zu WILD erforderte ein spezielles Montage-Know-how, das sich die Mitarbeiter beim Kunden vor Ort angeeignet und in Folge bei WILD entsprechend dokumentiert haben. Auch den hohen Anforderungen beim Aufbau und Abgleich der kostenintensiven Justagevorrichtungen wurde die WILD GmbH absolut gerecht. Ebenso komplex war der Aufbau des Produktionsprozesses. Es galt einen völlig schwingungsfreien Raum zu schaffen. „Trotz einer gewissen Vorlaufzeit ist es uns gelungen, die Kosten für die Produktion der Splitfieldmikroskope so gering zu halten, dass es für unseren Kunden SÜSS MicroTec effizienter ist, die Fertigung auszulagern“, freut sich WILD-Geschäftsführer Mag. Thomas Jost.